新产品研发

氟氮混合气的生产过程比较复杂,工艺技术难度大,且由于氟气是强氧化剂,生产过程中对环境、设备、控制、安防的要求较高,氟氮混合气生产分为氟气提纯和混合充装两个步骤。

氟氮混合气应用范围和前景极其广阔,是原子能工业、含氟电子特气、氟化石墨、多种氟化物、医药中间体等的原料。同时还是一些特殊材料表面改性的理想材料。

作为当今理想的蚀刻气体之一且氟气不会造成温室效应,被应用于集成电路和各种电子元器件的生产,半导体制造工艺中CVD腔室的清洗,在半导体领域极具市场潜力。


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