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三氟化氯(chlorine trifluoride)是无机化合物 ,分子式为ClF,分子量为92.45。有毒,有强腐蚀性,常温下为无色气体,降温变为绿色液体。

可用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油等。在半导体工业中,三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱。它具有不需拆卸反应舱就可以清除舱壁附着的半导体物质这一优点。与其它代替的清洁剂不同,三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化,因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应。

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